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等离子刻蚀机的使用及趋势

发表时间: 2023-03-13 11:36:44

作者: 深圳市甲岸科技有限公司

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等离子刻蚀机的使用及趋势


随着科技的发达,它已经不只是我们通常所熟悉的事物。等离子体在科学、经济、医学等领域有着广泛的应用,等离子刻蚀机就是其中之一。等离子体,如低温,是对物质状态的1个称呼。物质有固体,液体,气体三种类型,除固体,液体,气体外,现在称其他物质为等离子体。

刻蚀是用化学、物理或两者结合的方法有选择地去除没有被抗蚀剂掩蔽的薄膜层,从而将图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上。按照工艺划分,刻蚀分为湿法刻蚀和干法刻蚀,由于湿法刻蚀在小尺寸及复杂结构应用中的局限性,当前市场应用以干法刻蚀为主,市占率高达90%以上。湿法刻蚀是用液体化学剂去除衬底表面的材料,各向异性差,随着器件特征尺寸缩小、结构愈加复杂,刻蚀精度难以保证。目前,湿法刻蚀主要用于清洗干法刻蚀残留物。干法刻蚀则是利用等离子体实现化学或物理反应来实现刻蚀。


按照刻蚀材料划分,刻蚀可分为介质刻蚀、硅刻蚀和金属刻蚀。其中,介质刻蚀、硅刻蚀广泛应用于逻辑、存储器件等芯片制造中,市场占有率超90%。



主要几款刻蚀产品:

电容性等离子体刻蚀CCP:将施加在极板上的射频或直流电源通过电容耦合的方式在反应腔内形成等离子。能量高、精度低,主要用于介质材料刻蚀。

电感性等离子体刻蚀ICP:将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀。能量低、精度高,主要用于硅刻蚀和金属刻蚀。

电子回旋共振刻蚀ECR:使用带电粒子在磁场中回旋转动获得能量,继而电子碰撞增加产生高密度的等离子体。

变压器耦合等离子体源TCP:TCP原理与ICP相似,区别是ICP为立体式电感线圈,而TCP为平面式。

ALE原子层刻蚀:通过一系列自限制反应去除单个原子层,将刻蚀精度精确到一个原子层,即0.4nm,具有超高选择率和均匀性,且微负载效应可以忽略不计。


等离子刻蚀机可应用于各行各业,不单单是是化学和工业领域,而且是应用很广泛的领域。

等离子刻蚀机的出现,解决了许多人们所面临的难题,为人们的生活做出了很大贡献。


等离子刻蚀机的使用及趋势
等离子刻蚀机的使用及趋势随着科技的发达,它已经不只是我们通常所熟悉的事物。等离子体在科学、经济、医学等领域有着广泛的应用,等离子刻蚀机就是其中之一。等离子体,如
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