真空等离子清洗机是在密闭的真空室内,电源的高频交流电能量通过电极将气体分子激发成离子态,从而形成等离子体。电离产生的等离子体含有电子、中性原子、分子、自由基、电离的原子和分子、解离过程中产生的紫外线等,在物质上保持电中性。