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电浆蚀刻机百科

发表时间: 2023-07-13 13:44:32

作者: 深圳市甲岸科技有限公司

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电浆刻蚀机是一种利用等离子体(电浆)对材料表面进行清洗的设备。产品可以提供稳定的表面处理效果,带来改性、刻蚀等多种用途。


电浆刻蚀机原理

等离子体(plasma)又叫做电浆,设备的核心就是等离子体,它是很好的导电体,通过磁场可以移动、加速等离子体,通过其特性在材料、能源、环境、物理等多个领域带来帮助;电浆刻蚀机通过等离子发生器产生的等离子体对产品表面进行处理,与表面进行化学反应生产挥发性物质,在表面形成需要的图案以及纹路,达到刻蚀的目标。

电浆刻蚀机应用

芯片制造:利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气结合,可在晶圆上形成微米级氮化硅刻蚀,四氟化碳与氧气、氢气结合可去除四氟化碳。

电路板制造:随着行业发展,电路板越来越小,上面孔也越来越小,传统的药剂清洗难以处理微孔问题,等离子体具有很强的扩散性,因此产生的刻蚀气相等离子体可以有效刻蚀微米级孔洞,通过调整工艺参数可以控制咬蚀量。


电浆刻蚀机在很多行业都得到了广泛应用,解决很多材料表面处理上的难题,厂家可以根据自身需求进行产品定制以满足生产中的应用。



电浆蚀刻机百科
电浆刻蚀机是一种利用等离子体(电浆)对材料表面进行清洗的设备。产品可以提供稳定的表面处理效果,带来改性、刻蚀等多种用途。广泛运用于芯片制造和电路板制造等行业,解决材料表面处理上的难题。
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