电浆蚀刻机百科
发表时间： 2023-07-13 13:44:32
作者： 深圳市甲岸科技有限公司
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电浆刻蚀机是一种利用等离子体（电浆）对材料表面进行清洗的设备。产品可以提供稳定的表面处理效果，带来改性、刻蚀等多种用途。
电浆刻蚀机原理
等离子体(plasma)又叫做电浆，设备的核心就是等离子体，它是很好的导电体，通过磁场可以移动、加速等离子体，通过其特性在材料、能源、环境、物理等多个领域带来帮助；电浆刻蚀机通过等离子发生器产生的等离子体对产品表面进行处理，与表面进行化学反应生产挥发性物质，在表面形成需要的图案以及纹路，达到刻蚀的目标。
电浆刻蚀机应用
芯片制造：利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气结合，可在晶圆上形成微米级氮化硅刻蚀，四氟化碳与氧气、氢气结合可去除四氟化碳。
电路板制造：随着行业发展，电路板越来越小，上面孔也越来越小，传统的药剂清洗难以处理微孔问题，等离子体具有很强的扩散性，因此产生的刻蚀气相等离子体可以有效刻蚀微米级孔洞，通过调整工艺参数可以控制咬蚀量。
电浆刻蚀机在很多行业都得到了广泛应用，解决很多材料表面处理上的难题，厂家可以根据自身需求进行产品定制以满足生产中的应用。
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