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大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、微波等离子清洗机，三者有什么区别？
发表时间： 2023-12-24 11:42:57
作者： 深圳市甲岸科技有限公司
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1、大气等离子清洗机
一般采用空气作为生发气体。特点是气体的需求量非常高，工业应用上常用中频作为激发能源，频率在39KHZ左右。
大气等离子清洗机有直喷、旋转、宽幅等不同处理方式所衍生出的各类设备类型。这几种类型的区别主要在于根据产品的大小、要求选择不同的处理方式。比如处理面小的可以选择直喷式等离子清洗机，处理面适中的可以选择旋转下式等离子清洗机，而处理面较大的，则可以选择宽幅等离子清洗机。
等离子工作形态以直喷跟旋转两种比较常见。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人有害的气体，所以必须要配套废气排放系统一同工作。因为特性，大气等离子主要适用于对处理效果要求高，并且后续运行成本低的行业，例如手机盖板，手机保护膜等行业。
2、真空等离子清洗机
主要分为两种，即腔式和大气压式，此两种等离子技术均为直接式等离子。腔式等离子的特点是需要一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，工作时首先用真空泵将腔体内空气吸出形成真空环境，然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于大气等离子。后续运行成本较高，主要是因为其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多，对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说，局限性比较明显，大气压光式等离子技术。RF射频作为激发能源，工作频率是13.57MHZ。采用氩气（Ar）作为发生气体，氧气或者氮气作为反应气体。
真空等离子清洗机的特点就是在设备中有进行等离子处理的反应腔。依据产品的需求，反应腔室的容积、结构也都不同。相对大气等离子清洗机来说，因为在反应腔室内进行处理，其产品的处理面更加大，且一致性较好，对等离子处理效果要求较高的产品来讲，真空等离子清洗机是不错的选择。
3、微波等离子清洗机
半导体行业PLASMA解决方案，可根据产品特性及客户需求，提供射频等离子自动化系统或微波自动化系统，还可提供完善的在线式及腔体式产品系列供您选择。
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