真空等离子清洗机 30L
应用范围：
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；
2、提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
甲岸科技真空等离子清洗机 30L
甲岸科技真空等离子清洗机采用8K镜面不锈钢腔体设计，密封性卓越；13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果，满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；
2、提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
产品特点
- 不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
- 8K镜面不锈钢腔体，密封性卓越
- 高密度等高子体，确保出众的清洗效果
- 可视化触摸屏，过程参数实时监控
- 支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
- 高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调
型 号 | AP-VM30 | |||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | 40KHz 中频 | |
功 率 | 0~300W可调 | 0-2000W可调 | ||
选配 | ||||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 316L不锈钢、航空铝（选配） | |
腔体内部尺寸(MM) | 350*300*300（宽*高*深) | |||
极板有效尺寸（MM） | 310*250 （宽*深) | |||
极板 | 8层，水平式，活动可调节 | |||
腔体容积 | 30L | |||
密封性 | 军工级焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨泵组合（选配） | ||
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | |||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | |||
质量流量计 | ＜±1% FS | |||
气路控制 | 2-4路处理气体气路，气体流量可调 | |||
极限真空 | 5Pa | |||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM（可调） | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选） | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840(宽*高*深） | ||
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