等离子表面处理设备厂家
应用范围:
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;
2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。
甲岸科技真空等离子清洗机 30L
甲岸科技真空等离子清洗机采用8K镜面不锈钢腔体设计,密封性卓越;13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果,满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;
2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。
产品特点
型 号 | AP-VM30 | |||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | 40KHz 中频 | |
功 率 | 0~300W可调 | 0-2000W可调 | ||
选配 | ||||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 316L不锈钢、航空铝(选配) | |
腔体内部尺寸(MM) | 350*300*300(宽*高*深) | |||
极板有效尺寸(MM) | 310*250 (宽*深) | |||
极板 | 8层,水平式,活动可调节 | |||
腔体容积 | 30L | |||
密封性 | 军工级焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨泵组合(选配) | ||
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | |||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | |||
质量流量计 | <±1% FS | |||
气路控制 | 2-4路处理气体气路,气体流量可调 | |||
极限真空 | 5Pa | |||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM(可调) | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选) | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840(宽*高*深) |