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真空等离子清洗机150L

应用范围:
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;
2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。

甲岸科技真空等离子清洗机 150L


甲岸科技真空等离子清洗机采用8K镜面不锈钢腔体设计,密封性卓越;高密度等高子体,确保出众的清洗效果,满足用户对产品表面处理需求。



产品应用


1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;

2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。



产品特点


  • 不锈钢托盘设计,可调节托盘间距
  • 8K镜面不锈钢腔体,密封性卓越
  • 13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;
  • 可视化触摸屏,过程参数实时监控。
  • 支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
  • 高精度气体流量监测系统,两路工艺气体配置(氩气、氧气),双路气流控制,比例可调

 

AP-VM150

等离子源系统

 

13.56MHz  射频

40KHz  中频

 

0~1000W可调

0-5000W可调

选配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

500*600*500(宽**)

极板有效尺寸(MM)

460*450    (宽*)

极板

17层,水平式,活动可调节

腔体容积

150L

密封性

军工级焊接密封

真空泵

油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

<±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

ArN₂、O₂、H₂等等(可选)

外观参数

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(宽高深)

 

700KG

设施配置

 

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定


真空等离子清洗机150L
应用范围:
1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;
2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。
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