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等离子蚀刻机150L

应用范围
适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。

甲岸科技等离子刻蚀机 150L


甲岸科技等离子刻蚀机对进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,确保细小图形转移后的保真性。满足用户对产品表面处理需求。



产品应用


1、适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。


产品特点


  • 操作简单、易维护。
  • 引进德国核心等离子技术,质量有保障。
  • 进口针阀精密流量控制计,精度高。
  • 材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
  • 多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
  • 可以根据客户需求定制


型  号

AP-E150

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

功  率

0~500W   可调

真空系统

真空腔体

材质

石英、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

360*800*650

腔体容积

150L

极板

4层

密封性

军工级焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

薄膜硅

气体流量计

<±1% FS

气路控制

2路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

3Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂O₂、H₂等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

1020*1700*1050(宽高深)

重  量

800KG

设施配置

电  力

五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

干燥压缩空气CDA。

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单。


等离子蚀刻机150L
应用范围
适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。
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